分子泵应用及故障处理
分子泵应用及故障处理
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。
由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，致使反流增加，抽气能力下降。
一、工作条件
转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。
气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。
二、特点
油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。
脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。
三、其他常见应用
分析（质谱分析、电子显微镜等）
半导体（电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等）
光学/玻璃（热保护、增透、反射、光学滤光膜）
镀膜（表面保护、装饰涂料、显示器、屏幕）
真空冶金（真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金）
泄露检测（真空系统、车辆的油箱、安全气囊）
研究实验（医学核磁共振成像、核粒子物理、核聚变研究，激光应用和许多更多）
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四、分子泵故障处理
1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？
原因：附近有光照或其他热源
解决方法：避免光照或热源
2、分子泵使用中发生油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？
原因：冷却不良，负载太大
解决方法：检查冷却系统，检查真空系统
3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？
原因：负载太大，系统真空度不够
解决方法：检查系统
4、分子泵轴承为什么会烧毁
原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？
原因：防护网破裂，前级管道破裂
解决方法：优化系统设计
6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？
原因：油池破裂或密封不良
解决方法：检查油池
7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因：过热、负载大
解决措施：检查冷却系，检查系统
8、分子泵中经常掉出顶丝、螺钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？
原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
解决方式：应是偶尔发生的事情，可能随时平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。
9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？
答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等
10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？
答：①电压不稳②强干扰③高压打火④人为解密
11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？
答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要专用仪器和特定的测试环境
12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？
答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机，碎泵、油变黑等。
13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是较佳的方式？
答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？
答：原因：电压低
15、分子泵叶片破碎的原因：
答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：
①误操作；比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄，或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。
②是异物掉入：没有安装过滤网肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。
③电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损失较大。
④前级泵的效率差：我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。
⑤分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。
⑥轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。
来源：真空行业知识圈